Análisis estructural de películas multicapa Fe-Cu crecidas

Análisis estructural de películas multicapa Fe-Cu crecidas

Análisis estructural de películas multicapa Fe-Cu crecidas por
pulverización catódica
V. Mendoza, H. Cruz-Manjarrez, M. Monroy, R. Hernández, C. Magaña- Zavala, O.
Hernández-Cristóbal y J. Arenas-Alatorre
En este trabajo se analiza la rugosidad y habitó de crecimiento cristalino de películas
delgadas multicapa crecidas por
la técnica de pulverización catódica (“sputtering”).
Durante la síntesis, al menos dos capas ferromagnéticas están separadas por una película
ultradelgada de ~100 nanómetros de un metal no ferromagnético (Cu). En algunos sistemas
metálicos depositados en multicapas en las que se alternan metales magnéticos y no
magnéticos, ha sido posible observar el efecto llamado magnetoresistencia gigante, que
varían de acuerdo con el espesor del metal no magnético. La caracterización
microestructural de las películas delgadas mencionadas, se caracterizaron por Microscopía
Electrónica de Transmisión (TEM) y de Barrido (SEM), Espectroscopia por Dispersión de
Energía de Rayos X (EDS) y Microscopía de Fuerza Atómica (AFM), con ello se
determinó el espesor y composición química elemental de cada película. Por medio de
microscopía electrónica de transmisión de alta resolución (HRTEM) se realizó la
identificación de fases cristalinas. De las imágenes de HRTEM con la ayuda de los EDS se
identificaron a través de medidas de distancias interplanares, algunos oxido como CuO y
CuFeO2.